고무 정전척

고무 정전척은 당사 특허에 의거하여 개발하고 있는 제품입니다.

고무 정전척
온도 (溫度) -20℃ ~ 80℃
진공 (眞空) ATM ~ 10E-7
적용 (適用) 디스플레이 & 반도체