고무 정전척
Rubber ESC
- Cushioned Elastic Material 을 이용한 고내구성, 고품위 Substrate (Wafer/Glass) Chucking Module
- 반도체 TBDB 및 OLED Laminating 공정 시 발생되는 기포와 상온 및 고온에서의 반복 가압으로 인한 ESC 파손 방지
| Specifications | ||
|---|---|---|
| Dielectric | Elastic Materials | |
| Dimensions | Size | ≤ 150x150 ㎟ |
| Thickness | ≥ 15 ㎜ | |
| Operating Temperature | ≤ 150 °C | |
| Operating Voltage | ~ 5.0 kV DC | |
| Chucking Force | ≤ 30 gf/㎠ | |
| Surface Flatness | ≥ 20 ㎛ | |
