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사업분야
고무 정전척
Rubber - ESC
Cushioned Elastic Material 을 이용한 고내구성, 고품위 Substrate (Wafer/Glass) Chucking Module
반도체 TBDB 및 OLED Laminating 공정 시 발생되는 기포와 상온 및 고온에서의 반복 가압으로 인한 ESC 파손 방지
Specifications
Dielectric
Elastic Materials
Dimensions
Size
≤ 150x150 ㎟
Thickness
≥ 15 ㎜
Operating Temperature
≤ 150 °C
Operating Voltage
~ 5.0 kV DC
Chucking Force
≤ 30 gf/㎠
Surface Flatness
≥ 20 ㎛
고무 정전척
고무 정전척은 당사 특허에 의거하여 개발하고 있는 제품입니다.
고무 정전척
온도 (溫度)
-20℃ ~ 80℃
진공 (眞空)
ATM ~ 10E-7
적용 (適用)
디스플레이 & 반도체