고무 정전척

Rubber - ESC
  • Cushioned Elastic Material 을 이용한 고내구성, 고품위 Substrate (Wafer/Glass) Chucking Module
  • 반도체 TBDB 및 OLED Laminating 공정 시 발생되는 기포와 상온 및 고온에서의 반복 가압으로 인한 ESC 파손 방지
Specifications
Dielectric Elastic Materials
Dimensions Size ≤ 150x150 ㎟
Thickness ≥ 15 ㎜
Operating Temperature ≤ 150 °C
Operating Voltage ~ 5.0 kV DC
Chucking Force ≤ 30 gf/㎠
Surface Flatness ≥ 20 ㎛