고분자 정전척

필름 정전척 (폴리이미드 정전척 & 쿠션 정전척)
색상 (色相) 갈색, 검정색, 백색, 초록색
온도 (溫度) -20℃ ~ 80℃
진공 (眞空) ATM ~ 10E-7
적용 (適用) 반도체 & 디스플레이