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사업분야
고분자 정전척
필름 정전척 (폴리이미드 정전척 & 쿠션 정전척)
색상 (色相)
갈색, 검정색, 백색, 초록색
온도 (溫度)
-20℃ ~ 80℃
진공 (眞空)
ATM ~ 10E-7
적용 (適用)
반도체 & 디스플레이