세라믹 정전척

세라믹 정전척은 당사 특허에 의거하여 제작된 제품이며, 고순도 소재를 사용하여 내전압 특성이 뛰어납니다.

세라믹 정전척 소결 세라믹 코팅 세라믹
특성 (特性) 쿨룽 존슨-라벡 고 인성 쿨룽 & 존슨-라벡
색상 (色相) 아이보리 검정색 백색 백색
진공 (眞空) ATM ~ 10E-7
온도 (溫度) -20℃ ~ 100℃ -20℃ ~ 100℃ -20℃ ~ 80℃ -20℃ ~ 80℃
적용 (適用) 반도체 디스플레이 디스플레이 & 반도체