연구개발

지적재산권

당사는 디스플레이/반도체 분야에서 등록 특허 9건을 보유하고 있으며, 꾸준한 특허 출원으로 현재 출원 특허 2건이 등록 중비중입니다.

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  • 투명 플렉시블 정전척 및 그 제조방법

  • 고무 탄성체 다이아프램 타입 정전척 및 그 제조방법

  • 액상 접합법을 이용한 세라믹 정전척의 제조방법

  • 정전 플레이트의 구조가 개선된 정전척

  • 고무 점착식 척킹기구 및 이를 구비한 기판 합착장치와 그 제조방법

  • 기판 흡착용 정전 척 및 그를 이용한 기판 흡착 방법

  • 고무 점착식 척킹기구 및 이를 이용한 기판 합착장치

  • 대면적 조합형 정전척 및 그 제조방법

  • 전극구조가 개선된 정전척 및 그 제조방법