연구개발

지적재산권

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  • 정전 플레이트의 구조가 개선된

  • 점착고무식 척킹기구

  • 전극구조

  • 액상접합법 세라믹정전척

  • 대면적 조합형 정전척

  • 기판 흡착용 정전척

  • 고무점착식 척킹기구

  • 고무 탄성체 다이아프램 타입 정전척 및 그 제조방법